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好利旺ORION干燥機 壓縮空氣溫度調(diào)節(jié)裝置® ACU

圧縮空気溫度調(diào)節(jié)裝置 ナノサーモ® ACUペルチェ溫調(diào)方式で高精度と省エネを?qū)g現(xiàn)

ACU100-MD / ACU300-MD / ACU600-MD /
ACU1000B / ACU2000B

制御精度±0.01℃溫度制御範(fàn)囲15.00～40.00℃処理空気量30～2,100L/min
  • エアー溫度を±0.01℃に制御
  • ACU100-MD・ACU300-MD・ACU600-MDは除濕機能付で圧力調(diào)整も可能
  • コンパクト設(shè)計で省スペースを?qū)g現(xiàn)
ACU2000BACU2000B安心冷媒回路2年保証※本製品の冷媒回路保証期間は、お買い上げ後2年間
（ただし稼動時間10,000時間まで）です。

特長

高精度制御を?qū)g現(xiàn)

電子冷熱の応答性と當(dāng)社獨自の高精度コントローラにより高精度溫調(diào)が可能。
超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、母機の性能を最大限発揮させます。

低振動・低騒音

コンプレッサ搭載の冷凍方式と違い、ペルチェ素子による電子冷凍は動力部の振動が極めて少ないため、微細加工での位置決め精度に與える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。

ナノサーモの構(gòu)造

▲ ナノサーモ構(gòu)造図

コントローラ部

設(shè)定狀態(tài)表示ランプ

設(shè)定値表示部

運転ランプ

ON/OFFスイッチ

各種設(shè)定キー部

▲ コントローラ部

用途例

  • 精密加工機
  • 精密計測機
  • 半導(dǎo)體・FPD製造裝置
  • 分析機器
  • 精密塗裝機
  • 局所空間の精密溫調(diào)
  • 加工物・計測物の溫調(diào)
  • 精密加工機のエアーベアリング
  • 三次元測定器のエアースライド
ナノサーモ 用途例

仕様

型式 ACU 100-MD 300-MD 600-MD 1000B 2000B
適用流體 圧縮空気
使用範(fàn)囲 使用圧力範(fàn)囲（ゲージ圧） MPa 0.2～0.85 0.2～0.83
出口圧力調(diào)整範(fàn)囲（ゲージ圧） MPa 0.05～0.83 -
入口空気溫度 ℃ 5～40 15～35 15～30
出口溫度設(shè)定範(fàn)囲 ℃ 16～30 15～35 15～40
出口空気流量 L/min 30～130※2 50～390※3 130～600※3 130～1000※3 330～2100
周囲溫度 ℃ 18～25
入口空気水蒸気含有量 ℃ 飽和以下 圧力下10℃以下
基本性能 出口空気露點（大気圧下） ℃ -17以下※4 -
出口空気溫度制御精度※1 ℃ 設(shè)定値±0.01※1
條件 出口設(shè)定溫度 ℃ 23
入口空気溫度 ℃ 5～40 15～28
入口空気圧力（ゲージ圧） MPa 0.7
入口空気流量 L/min 125 375 750 1000 2100
出口空気流量 L/min 100 300 600 1000 2100
パージ空気流量 L/min 25 75 150 0 0
周囲溫度 ℃ 25
電気特性 電源 V(Hz) 単相100±10%(50/60) 単相200±10%
(50/60)
最大運転電流 A 4 5
電源容量 kVA 0.4 0.5 1
遮斷器容量 A 10
溫度制御方式 ペルチェ式定電流制御（PID制御）
放熱方式 空冷式
除濕方式 中空糸膜式 -
出入口配管接続口徑 Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4
外裝 塗裝色：N5.5/N8.0
機器細目 エアーフィルター / ミクロミストフィルター
膜式ドライヤー / レギュレータ
フロースイッチ內(nèi)蔵※5 		フロースイッチ內(nèi)蔵
質(zhì)量 kg 28 36 38 35 45
外形寸法 高さ mm 490 510 530
奧行 mm 500 550 600
幅 mm 240 320 320
スクロールできます
  1. 出口空気流量、入口空気溫度、周囲溫度が安定狀態(tài)で急激な変動がない場合。（入口空気溫度勾配：1℃/10min以內(nèi)）
  2. 出口空気圧力が0.4MPa以上の場合、最低出口空気流量は45L/min以上で使用してください。
  3. 入口空気圧力が0.25MPa以下のとき、本機內(nèi)圧力損失により、最大流量は次の様になります。
    ACU300-MD：270L/min、ACU600-MD：520L/min、ACU1000B：870L/min
  4. 入口空気溫度28℃時。
  5. フィルターを搭載しておりますが出口空気ろ過度を保証するものではありません。
  • 空気流量は、圧縮機の吸込狀態(tài)（大気圧、20℃、65%）に換算した値です。
  • 詳細は仕様書をご參照ください。
  • ACU600-MDは受注生産品です。

外形図

ACU100-MD / ACU300-MD / ACU600-MD
ACU100-MD / ACU300-MD / ACU600-MD
ACU1000B / ACU2000B
ACU1000B / ACU2000B

能力線図

圧力損失曲線
圧力損失曲線

設(shè)置スペース

風(fēng)通しを良くするために、また保守點検をしやすくするために充分なスペースを確保してください。

設(shè)置スペース

圧縮空気溫度制御機器



 
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